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微机电系统的未来趋势

2016-04-25 点击：539 次

作者：	李雪梅王春玲
作者单位：	安徽三联学院
摘要：	微机电系统是近代出现的一种微型化、电与机械结合新型技术，有着广泛的、深远的影响。本文根据目前最新研发状态，对微机电系统的未来某几个方面做出合理的猜测，具有很大的可行性。
关键词：	微机电系统；机电结合；微型系统
中图分类号：	TP27
基金项目：	基于Multi-Agent煤矿安全监控系统研究，编号：2015Z003。

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